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本发明公开了一种自供电异质结深紫外光电探测器及其制备方法。所述的探测器从下而上依次为基板、ε相Ga2O3薄膜、ZnO薄膜光敏层、顶电极和侧电极，其中，顶电极形成在光敏层上，侧电极形成在所述光敏层之外的ε相Ga2O3薄膜上，当侧电极形成在所述...该专利属于广东省科学院微生物研究所（广东省微生物分析检测中心）所有，仅供学习研究参考，未经过广东省科学院微生物研究所（广东省微生物分析检测中心）授权不得商用。