下载一种发光二极管芯片的除尘装置的技术资料

文档序号:32914280

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本实用新型公开了一种发光二极管芯片的除尘装置,包括主体支架、电机、传送带、带轮、气嘴、气嘴支架、晶圆料盒、对射传感器和抽真空槽,气嘴位于气嘴支架上,对射传感器放置于主体支架前后端,晶圆放于料盒中,传送带下方设置抽真空槽。当料盒放置于前侧左右...
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