下载一种用于集成电路生产的模块化防震空调机组的技术资料

文档序号:32912639

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本实用新型属于空调技术领域,公开了一种用于集成电路生产的模块化防震空调机组,包括:机身;机身一侧设有进风口,另一侧设有出风口,机身内沿风方向设有初级过滤段、表冷挡水段、加热段、加湿段、消声段、风机段及出风室;机身底部配置有减震部,减震部由减...
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