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本实用新型公开一种硅片目检旋转载台，包括底座以及安装在底座上的承载台，承载台能够相对于底座旋转，承载台上至少均布有3个用于承载硅片的治具，该治具包括垂直于承载台的承载架，承载架上沿其延伸方向间隔设置有多层用于承载硅片的承载段。本实用新型能够...
该专利属于徐州鑫晶半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州鑫晶半导体科技有限公司授权不得商用。

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