下载一种石墨舟片及石墨舟的技术资料

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本实用新型公开一种石墨舟片及石墨舟,该石墨舟片包括石墨舟片本体以及设置在石墨舟片本体上的卡轴组合;石墨舟片本体上具有至少一个硅片放置区,硅片放置区具有顺次连接的第一边缘、第二边缘、第三边缘和第四边缘;卡轴组合包括设置在第一边缘的第一卡轴,设...
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