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本发明公开了一种微纳光栅表面粗糙度的无损检测方法，包括如下步骤：用去离子水、无水乙醇和异丙醇对微纳光栅进行超声清洗，氮气吹干将三甲基氯硅烷滴到表面皿中，与微纳光栅一同置于真空干燥环境下，使三甲基氯硅烷充分钝化微纳光栅的表面；将固化剂加入聚二...
该专利属于中国建筑材料科学研究总院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国建筑材料科学研究总院有限公司授权不得商用。

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