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本实用新型专利公开了一种用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置，涂胶显影机包括用于吸附晶圆的吸盘和用于对晶圆进行涂胶的喷嘴组件。喷嘴组件包括多个呈并列设置的喷嘴，喷嘴夹持装置包括夹持机构和调节机构。夹持机构具有一夹持部，每一喷嘴均设有一和夹持部相限位...
该专利属于上海众鸿电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海众鸿电子科技有限公司授权不得商用。

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