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本实用新型是翻转式晶圆刻蚀机，其结构包括主机架，主机架正面顶部设触控式工业电脑，触控式工业电脑下方的主机架上的开口内设开合透视盖，开合透视盖两侧的主机架上设有控制按钮，开合透视盖下方的主机架内侧设水槽，水槽后侧的主机架内侧相邻设有工艺槽，水...
该专利属于无锡吉智芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡吉智芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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