温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种硅电极清洗装置，针对硅电极清洗时产生有毒气体对生产人员健康产生影响的问题，提供了以下技术方案，一种硅电极清洗装置，包括机架和用于放置硅电极的清洗架，机架设置密封的外壳，外壳在进料口和出料口设置自动开启和关闭的密封门，外壳...
该专利属于江苏宏芯时代半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏宏芯时代半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。