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本实用新型公开了一种加工硅环用夹具，应用在硅环加工领域，解决了对硅环的内侧面和外侧面加工不方便的技术问题，其技术方案要点是包括底座，底座上开设有圆台槽，圆台槽中设有升降圆台，升降圆台的上侧面的高度低于硅环上侧面的高度，升降圆台的侧面与硅环内...
该专利属于江苏宏芯时代半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏宏芯时代半导体有限公司授权不得商用。

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