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本发明公开了一种多轴MEMS组件。该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及连接到微机电系统(MEMS)致动器的光电器件。其中该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动...
该专利属于麦斯卓有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯卓有限公司授权不得商用。

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