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本发明提供了一种晶圆定位装置及其控制方法、装置，涉及半导体生产设备技术领域，所述晶圆定位装置包括：台盘，固定待定位晶圆；遮光板，位于台盘的一侧，待定位晶圆的外边缘轮廓位于遮光板所在平面的正投影上；旋转机构，设置于台盘的下方，驱动台盘绕轴心旋...
该专利属于北京中电科电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中电科电子装备有限公司授权不得商用。

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