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本发明提供加热装置和加热方法，即使在使用输出功率小的电源的情况下，也能够用来自发光元件的光对基片进行加热。加热基片的加热装置包括：支承基片的支承部；和光照射单元，其通过照射光来加热支承于上述支承部的基片，上述光照射单元被设定多个区块，按各上...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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