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本发明涉及一种皮拉尼计真空计，尤其是一种扩大测量区间的真空度测量装置及制备方法。按照本发明提供的技术方案，所述扩大测量区间的真空度测量装置，包括衬底；在所述衬底上采用MEMS工艺制备所需的皮拉尼计单元以及微压传感单元，在所述衬底内设置与微压...
该专利属于江苏创芯海微科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏创芯海微科技有限公司授权不得商用。

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