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本发明公开了一种高光谱光电探测器的制备工艺，属于光电材料与器件技术领域，其包括以下步骤：S1、首先对石英玻璃基底进行清洗，再对其表面进行处理；S2、使用电子束光刻在石英玻璃基底上制作光栅阵列的图样，再通过沉积金属和清洗，得到第一层的金属光栅...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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