下载一种蚀刻IC载板的循环蚀刻装置及方法的技术资料

文档序号:32809766

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本发明公开了一种蚀刻IC载板的循环蚀刻装置及方法,右蚀刻装置包括进给油缸、干膜以及喷射盘,所述进给油缸的缸筒设置于工作台的台面上,进给油缸的活塞杆上设置有L板,L板的水平板焊接于活塞杆的作用端上,L板的垂直板上焊接有进液管,进液管的右端口处...
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