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本实用新型提供了一种AlN晶片的批量掺杂装置，该装置至少包括一容器与以及与每容器所匹配的一多孔载物片；多孔载物片采用密集规律排布的开孔设计；该装置还包括一压盖与一覆盖片；容器内底部设置一个或多个均匀排列的凹槽，用于放置掺杂物质；容器内壁设置...
该专利属于奥趋光电技术（杭州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过奥趋光电技术（杭州）有限公司授权不得商用。

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