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本发明揭露一种晶圆支撑座，包含：一支撑盘，具有一电极及位于所述支撑盘底部的一第一连接部；一轴，具有一顶端及位于所述顶端的一第二连接部，且所述第二连接部与所述第一连接部可拆卸地连接，使所述轴的顶端可拆卸地连接至所述支撑盘的底部；及一绝缘介质片...
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