下载一种自动化复制压印一体设备及其使用方法的技术资料

文档序号:32739303

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本发明公开了一种自动化复制压印一体设备及其使用方法,腔体外部左侧设有晶舟盒,靠滑轨卡扣固定,可更换尺寸,左侧用于放置基片和模具,右侧用于设备内部自动取放;腔体内部左侧靠近晶舟盒处设有可升降机械手,用于转移所需模具或基片;腔体内部左上方设有软...
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