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扇出型面板级封装电镀的电镀设备构造制造技术
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文档序号:32735688
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一种扇出型面板级封装电镀的电镀设备构造,一电镀槽、一电极驱动单元、至少一挂架,该电极驱动单元包含二相对应的转轴,该些转轴以偏心状设置多个转盘,所述各转盘设置于一转盘座中,所述各转盘座结合一驱动架,借驱动马达的驱动使该转盘偏心状转动并连动该驱...
该专利属于颜振益所有,仅供学习研究参考,未经过颜振益授权不得商用。
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