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本发明涉及最小化照射非均匀性的系统和方法。本发明涉及一种用于照射处理衬底(1)的处理表面(5)以获得预定义温度分布的方法，处理表面(5)包括第一区域(11)和第二区域(13)，第一区域(11)具有光学特性和热特性的第一组合，并且第二区域(1...该专利属于欧洲激光系统和解决方案公司所有，仅供学习研究参考，未经过欧洲激光系统和解决方案公司授权不得商用。
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本发明涉及最小化照射非均匀性的系统和方法。本发明涉及一种用于照射处理衬底(1)的处理表面(5)以获得预定义温度分布的方法，处理表面(5)包括第一区域(11)和第二区域(13)，第一区域(11)具有光学特性和热特性的第一组合，并且第二区域(1...