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本实用新型提供一种晶圆保护装置，包括控制单元、供应单元和具有晶圆容纳部的支撑结构；其中，所述支撑结构连接所述控制单元和所述供应单元；所述控制单元通过控制所述供应单元的通断，以此来控制所述供应单元是否为所述晶圆容纳部提供保护气体。本实用新型提...
该专利属于广州粤芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州粤芯半导体技术有限公司授权不得商用。

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