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本实用新型实施例提供了一种碳化硅晶圆化学机械抛光装置，涉及碳化硅晶圆抛光技术领域，在抛光头与晶圆保持器连接时，晶圆保持器能够在抛光头的带动下可活动地抵持于抛光垫，从而在晶圆保持器夹持有碳化硅晶圆的情况下，使得碳化硅晶圆不断地被抛光垫磨削而抛...
该专利属于湖南三安半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南三安半导体有限责任公司授权不得商用。

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