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本发明公开了一种纳米压印胶体溅射装置以及方法，装置包括容器体，溅射组件，支撑板组件以及喷射组件。容器体内形成有真空腔室；溅射组件部分设置于真空腔室内，溅射组件包括靶电极和对应电极；支撑板组件设置于真空腔室内，包括沿第一方向相对设置支撑板，靶...
该专利属于罗刚所有，仅供学习研究参考，未经过罗刚授权不得商用。

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