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本发明涉及一种能实现自由旋转的电气导通工作台，包括安装底座、驱动电机、芯体以及吸附组件，所述驱动电机包括定子以及转子，所述定子安装在所述安装底座上，所述转子安装在所述定子上并可相对所述定子进行θ轴旋转；所述吸附组件包括吸盘，所述吸盘安装在所...
该专利属于深圳市华腾半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华腾半导体设备有限公司授权不得商用。

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