下载一种连续测量石墨坩埚壁温度的装置及放置方法的技术资料

文档序号:32662500

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本发明公开了一种连续测量石墨坩埚壁温度的装置及放置方法,测量中频炉使用的石墨坩埚的坩埚壁温度的方法。该方法包括一个贵金属热电偶测温装置,测温装置的放置方法。热电偶测温装置由多层经过涂层处理的氧化铝或者氧化锆等不导电的耐高温陶瓷保护管,经过涂...
该专利属于长沙新立硅材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长沙新立硅材料科技有限公司授权不得商用。

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