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本公开提供的离子氮碳硫多元共渗设备、处理系统及方法，设备包括：炉体；位于炉体内的工件盘；位于炉体内的工件盘上方的阳极板；位于炉体内的工件盘下方的辅助阴极；位于炉体内的工件盘、阳极板和辅助阴极外围的空心阴极筒；第一电源，用于为空心阴极筒和辅助...
该专利属于烟台大学所有，仅供学习研究参考，未经过烟台大学授权不得商用。

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