下载一种面向高速光通信的6.4Tbps硅基光引擎收发芯片组件的技术资料

文档序号:32626998

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本发明公开了一种面向高速光通信的6.4Tbps硅基光引擎收发芯片组件。该芯片组件可基于包含氮化硅工艺的绝缘体上硅(SOI)和磷化铟(InP)等半导体加工工艺制造而成。该光引擎收发组件以硅光芯片为基底,通过键合或倒装焊等方式将InP激光器和光...
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