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一种铣床、非暂态计算机可读取介质、以及用于铣削多层物体的方法。方法可以包括：铣削由间隙而彼此间隔开的结构元件的阵列中的每个结构元件，以提供经铣削的结构元件，其中，每个经铣削的结构元件具有平坦的上表面，其中，在铣削之前，阵列的结构元件中的每一...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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