下载屏蔽栅沟槽型场效应晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:32545330

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本申请是关于一种屏蔽栅沟槽型场效应晶体管,包括:衬底区、漂移区、基体区、源区、沟槽区、漏极以及源极;所述漂移区与所述衬底区相接,以所述衬底区指向所述漂移区的方向为上方,所述基体区和所述源区依次设置在所述漂移区的上方;所述沟槽区设置在所述基体...
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