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本申请实施例公开一种检测装置，包括：具有密封空间的机箱；设置于机箱底部的用以放置被检测物的载物台；位于机箱顶部的与载物台对应设置的光成像相机；设置于光成像相机下方的滑轨；位于滑轨上的且可在滑轨上滑动的热成像相机；当载物台上的被检测物需要检测...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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