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一种熔石英元件表面缺陷激光修复质量的自动检测方法技术
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文档序号:32480706
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一种熔石英元件表面缺陷激光修复质量的自动检测方法,涉及工程光学技术领域,用于检测熔石英元件表面缺陷的修复质量。本发明的技术要点包括:改变相机和元件之间的距离,采集对应不同聚焦状态下包含修复坑的多个图像;对不同聚焦状态下的多个图像进行景深融合...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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