温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及设备维护技术领域，尤其涉及一种晶圆叉清洗方法及装置，该晶圆叉清洗装置，包括：清洗室、设置于清洗室内的喷洒装置和刷子、设置于清洗室出入口的气刀；所述喷洒装置，用于喷淋清洗液；所述刷子，用于对伸入所述清洗室内的晶圆叉进行洗刷，气刀，用...
该专利属于真芯（北京）半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过真芯（北京）半导体有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。