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本实用新型涉及一种光掩模充气柜结构，尤指一种使得光掩模移转容器内部保持较佳洁净度的充气柜结构，其包含有一中空的柜体，且柜体内设有至少一供光掩模的移转容器定位放置的循环单元，该循环单元具有至少一充气元件与至少一排气元件，其中充气元件可选择性对...
该专利属于廖莉雯所有，仅供学习研究参考，未经过廖莉雯授权不得商用。

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