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本实用新型涉及半导体晶片加工技术，具体地说是一种可以节约时间的匀胶显影设备改进结构。匀胶显影设备包括匀胶单元、显影单元、热盘单元、冷盘单元、预处理增粘单元、盒站、盒站机器人、工艺机器人、对中单元、晶片盒，在热盘单元和冷盘单元之间加设传送机构...
该专利属于沈阳芯源先进半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源先进半导体技术有限公司授权不得商用。

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