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晶片分割方法和分割装置制造方法及图纸
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文档序号:3238328
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一种沿着晶片正面上形成为格子状图案的多条分割线分割晶片的方法,所述晶片沿着分割线的强度降低,所述方法包括以下步骤:带贴附步骤,用于将一保护带贴附于晶片的一侧;晶片保持步骤,用于通过所述保护带在每个分割线两侧保持贴附在保护带上的晶片;以及折断...
该专利属于株式会社迪斯科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪斯科授权不得商用。
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