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一种光学位置测量系统的扫描头，带有一个有光敏区域（３）的接收栅（３）用于扫描不同相位的位置强度调制的光。接收栅（１．７）具有一个半导体层堆叠（１．２）构成，所述半导体层堆叠有一个掺杂的ｐ层（１．２．１）、一个本征的ｉ层（１．２．２）和一个掺...该专利属于约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司授权不得商用。
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一种光学位置测量系统的扫描头，带有一个有光敏区域（３）的接收栅（３）用于扫描不同相位的位置强度调制的光。接收栅（１．７）具有一个半导体层堆叠（１．２）构成，所述半导体层堆叠有一个掺杂的ｐ层（１．２．１）、一个本征的ｉ层（１．２．２）和一个掺...