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本实用新型公开了一种氮化硅制品用炉子，包括底座和设在底座上用于烧制碳化硅制品的烧结炉主体，以及用于冷却烧结氮化硅制品的冷却箱，烧结炉主体的进料口处设有用于将待烧制的氮化硅制品送进烧结炉主体内部的送料机构，送料机构包括设在烧结炉主体进料口处的...
该专利属于天津市瓦克新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津市瓦克新能源科技有限公司授权不得商用。

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