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本实用新型公开了磁控溅射生产线负压连体器装置，包括装置本体，所述装置本体内部底端安装有工作台，所述装置本体内部位于工作台一侧水平安装有丝杆，所述装置本体内部安装有清理板。本实用新型中，通过设置清理板、清理海绵、软质毛刷、丝杆和步进电机，便于...
该专利属于大理星球太阳能科技开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大理星球太阳能科技开发有限公司授权不得商用。

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