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本发明提供一种半导体组件、封环结构及其形成方法,该封环结构介于集成电路与切割道之间。在一实施例中,封环结构包括基板;多层金属导线,位于基板上;多个导孔插塞,贯穿金属导线之间的介电层,并电连接金属导线;第一保护层,位于金属导线上,且具有开口以...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种半导体组件、封环结构及其形成方法,该封环结构介于集成电路与切割道之间。在一实施例中,封环结构包括基板;多层金属导线,位于基板上;多个导孔插塞,贯穿金属导线之间的介电层,并电连接金属导线;第一保护层,位于金属导线上,且具有开口以...