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制作微元件的方法，首先利用具第一波长的光源对适用于第二波长的光致抗蚀剂层进行曝光，对该适用于第二波长的光致抗蚀剂层进行显影以得到感光区块，对感光区块进行热回流工艺以形成微元件。...
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