下载绝缘栅极半导体器件及其生产方法的技术资料

文档序号:3236462

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本发明的目的在于提供一种获得高击穿电压和紧凑性的绝缘栅极型半导体器件及其生产方法。半导体器件(100)具有形成在单元区域中的多个栅极沟槽(21)和P浮置区域(51),并且具有形成在接线区域中的多个接线沟槽(62)和P浮置沟槽(53)。另外,...
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