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一种多阶式栅极结构包含具有多层阶梯结构的半导体基板、设置在该多层阶梯结构上的栅氧化层以及设置于该栅氧化层上的导电层。较佳地，该多层阶梯结构各阶梯表面的栅氧化层厚度不相同。此外，该多阶式栅极结构另包含多个掺杂浓度不同的掺杂区，设置在该多层阶梯...
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