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锗硅异质结双极晶体管抗电荷收集的测试方法及系统技术方案
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文档序号:32359154
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本发明公开了一种锗硅异质结双极晶体管抗电荷收集的测试方法及系统,该测试方法包括:对待测器件进行测试,并记录第一测试结果;基于第一测试结果筛选出待加固器件;对待加固器件进行分组编号,分别对不同组的待加固器件设置不同的中子注量,对待加固器件进行...
该专利属于湘潭大学所有,仅供学习研究参考,未经过湘潭大学授权不得商用。
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