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一种用于3D MEMS探针网清洗工序的固定夹持装置,包括上盖板和下底板。上盖板开设第一通孔,其下端面盖设上纱网;第一通孔内设有上直线轴承,包括第一内圈和第一外圈;第一通孔内还嵌有上顶圈,其下端设有第一抵持部;上顶圈与第一通孔螺纹配合。下底板...该专利属于强一半导体(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过强一半导体(上海)有限公司授权不得商用。
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一种用于3D MEMS探针网清洗工序的固定夹持装置,包括上盖板和下底板。上盖板开设第一通孔,其下端面盖设上纱网;第一通孔内设有上直线轴承,包括第一内圈和第一外圈;第一通孔内还嵌有上顶圈,其下端设有第一抵持部;上顶圈与第一通孔螺纹配合。下底板...