下载离子注入制备高性能碲镉汞p-n结的方法的技术资料

文档序号:3233338

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本发明涉及离子注入制备高性能碲镉汞p-n结的方法。该方法采用同一块碲镉汞薄膜为基底;制作多块掩膜板;并蒸镀ZnS薄膜作为离子注入的阻挡层;在阻挡层上光刻出相应的离子注入区进行注入;再完成p-n结的成结工艺。其中,离子注入的阻挡层是通过多次叠...
该专利属于淮阴师范学院;中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过淮阴师范学院;中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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