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用于测量铜引线是否产生凹型坑的电路版图结构制造技术
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文档序号:3233330
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本发明公开了一种用于测量铜引线是否产生凹型坑的电路版图结构,所述电路版图结构包括一组独立的铜引线十字单元阵列,所述独立十字单元阵列由至少2个相互独立的十字单元构成,每个独立十字单元由等臂十字结构的铜引线构成。本发明可以用于电学测量铜引线在C...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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