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本发明涉及一种柔性非晶硅薄膜太阳能电池的制备方法，所选用的柔性衬底为聚酰亚胺薄膜（ＰＩ膜）。其主要工艺步骤为：（１）清洗柔性衬底（ＰＩ膜）；（２）预烘ＰＩ膜；（３）制备Ａｌ背电极；（４）制备ＺｎＯ薄膜缓冲层；（５）利用ＰＥＣＶＤ制备ＮＩＰ非...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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