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本实用新型公开了一种多晶硅生产中尾气回收系统，属于多晶硅生产技术领域，包括活性炭吸附柱、换热器、硅粉过滤器和收集罐，所述活性炭吸附柱包括用于通热水的内外盘管、进料口和出料口，所述换热器包括进口和出口，所述硅粉过滤器上部设有氢气进料口、尾气进...
该专利属于四川永祥新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川永祥新能源有限公司授权不得商用。

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