温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

所公开的主题的是一种减少处理室内部的部件的膜脱落的方法。在一示例中，所述方法包括：在所述处理室内的连续多个衬底中的每一个上形成介电膜层；以及在预定数量的所述连续多个衬底上形成所述介电膜层之后，在所述处理室内部的所述部件上形成未掺杂的硅酸盐玻...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。